Cov tswv yim yooj yooj yim thiab kev paub txog kev tiv thaiv electrostatic
Kev tshem tawm ntawm qhov hluav taws xob yuav ua rau kev puas tsuaj, tabsis yog los ntawm kev tiv thaiv thiab kev tiv thaiv ESD thiab tswj kev ntsuas kom tsim tau ESD, ESD muaj peev xwm tshem tawm los yog tswj tau kom txo kev puas tsuaj rau cov khoom. Muaj ob qho tswv yim yooj yim rau kev tiv thaiv electrostatic thiab kev tswj cov cuab yeej nkag siab:
1. (1) Tiv thaiv kom tsis txhob muaj hluav taws xob nyob hauv qhov chaw ua av, thiab siv qee qhov kev ntsuas kom tsis txhob los sis txo qhov teeb meem ntawm electrostatic tso tawm, los yog txais txoj kev "ntuav thaum tsim sab" kom tshem tawm cov khoom siv hluav taws xob . Tus nqi yog tswj raws li qhov nws tsis ua kom raug mob.
1. (2) Nqi them tus nqi kom sai thiab zoo.
2.1 Txoj Kev Tswj Txheej Txheem
Tsim tawm los ua cov nqi me ntsis zoo li lub sijhawm thaum muaj cov txheej txheem ntau lawm. Rau qhov kawg no, cov kev ntsuas raug coj los ntawm cov txheej txheem kev khiav, kev xaiv cov khoom, kev siv cov khoom siv thiab kev tswj lag luam tswj cov cim thiab tsub zuj zus ntawm cov hluav taws xob zoo li qub, thiab ua rau lub zog ntawm electrostatic muaj peev xwm thiab tsis pub dhau lub puas tsuaj. Raws li nyob rau hauv cov txheej txheem kev tsim tawm ntawm semiconductor, lub cev tawv ntawm lub dej deionized rau yaug yuav tsum raug tswj tom qab lub qhov ntiav theem pib lub txheej txheem ntawm lub siab ceev cov cuab yeej tiav. Txawm hais tias lub siab dua tus resistivity, qhov zoo dua qhov ntxuav cov nyhuv, tiam sis lub siab dua tus resistivity, ntau dua qhov hluav taws xob hluav taws xob generated ntawm lub nti. Yog li, nws feem ntau tswj tau ntawm ib theem siab dua 8 MΩ, thiab tsis tuaj yeem yuav 16-17 MΩ rau thawj txheej txheem. Tsis tas li ntawd, hauv cov ntaub ntawv xaiv, cov khoom ntim yuav tsum siv cov ntaub ntawv tsis zoo, ua kom tsis txhob muaj cov ntaub ntawv pov thawj.
2.2 Tshem tawm txoj kev
Nws yog tsim los tua cov hluav taws xob los ntawm kev tawm. Feem ntau, electrostatic grounding yog lub to taub ntawm hluav taws xob nqi rau lub ntiaj teb; kuj muaj ib txoj kev ua kom cov hluav taws xob ua kom muaj zog ntawm qhov khoom kom ua av zais zis los yog sab hauv ntawm qhov khoom, xws li ntxiv ib qho chaw sawv cev ntawm electrostatic los yog nce cov av noo. Qhov feem ntau yog qhov khoom tiv thaiv plab los tiv thaiv qis los ntawm cov neeg ua haujlwm thiab lub zog qub.
2.3 Electrostatic shielding txoj kev
Raws li lub hauv paus ntsiab lus ntawm electrostatic shielding, nws muaj peev xwm raug muab faib ua ob hom: sab hauv kev tiv thaiv sab nraud thiab lwm daim thaiv shielding. Qhov kev ntsuas tshwj xeeb no yog cais tawm lub cev ntawm lwm cov khoom nrog lub npog npog av, kom lub teb hluav taws xob ntawm lub cev raug foob yuav tsis cuam tshuam lwm yam khoom puag ncig (sab hauv kev tiv thaiv); qee zaum cov ntaub thaiv npog siv los tiv thaiv cov khoom ntiag tug, yog li ntawd Nws yog kev tiv thaiv los ntawm sab nraud hluav taws xob (outfield shielding). Piv txwv li, ib lub hnab GaAs ntaus ntawv siv ib lub rooj hlau lossis ib daim duab hlau.
2.4 Txoj Kev Ua Raws Txheej Txheej Txheem Tsis Tshooj Cai
Lub hom phiaj nws yuav ua kom tshem tawm txoj kev them nyiaj hauv nruab nrog los ntawm txoj kev tsis sib haum. Kev siv lub cuab kev tshem tawm los tsim ib txoj haujlwm uas muaj kev them nyiaj rau lub cev kom ua tsis tau zoo. Feem ntau hais lus, thaum lub cev them nqi yog ib qho insulator, txij li tus nqi hluav taws xob tsis tuaj yeem ntws ntawm cov insulator, txoj kev siv av tsis tuaj yeem siv los xaim hluav taws xob. Nyob rau hauv qhov no, ib qho kev tshem tawm cov tshuaj tua kab mob yuav tsum raug siv los ua kom muaj qhov txawv txav kom tsis txhob muaj kev cuam tshuam. Qhov no yog siv los tshem tawm cov nqi hluav taws xob uas raug hluav taws xob ua rau ntawm txoj hlua siv.
2.5 Ntxuav kev ntsuas
Tsim kom tsis txhob sib quas ntus. Ua li no, qhov chaw ntawm lub cev thiab cov khoom puag ncig yuav tsum tau khaws cia kom zoo ib yam thiab kom huv sai li sai tau kom txo tau cov kev sib tshuam mus los.